高壓熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
高壓熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表.即利用流體流過發(fā)熱物體時,發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系.該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,再通過微電子控制技術,將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
高壓熱式氣體質量流量計的在線檢定是一種實液檢定，和實驗室檢定相比，它具有許多特殊性或要求，歸納起來主要有以下幾點：
⑴、要有一個固定的或可移動的檢定質量流量計的流量標準裝置，除裝置的準確度滿足要求外，裝置的工作溫度范圍、耐壓等級及介質兼容性等也要符合在線檢定要求，如果是可移動的流量標準，還要求裝置輕便靈活;
⑵、檢定過程中，流體必須處于密閉狀態(tài)，以保證檢定工況不發(fā)生變化，同時也保證檢定現(xiàn)場的安全;
⑶、檢定過程中不允許中斷流體;
⑷、被檢流量計如果采用移動的標準裝置檢定，流量計所處的現(xiàn)場要有相應的接口、閥門及配套的回收清掃設施、場地、電源等。
